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仪表网 招标采购】7月8日，中国政府采购网发布东南大学电子科学与工程学院反应离子刻蚀机采购项目招标公告，预算金额350万元，东南大学电子科学与工程学院采购反应离子刻蚀机。
一、项目基本情况
项目编号：0664-2540SUMECZF116
项目名称：东南大学电子科学与工程学院反应离子刻蚀机采购
预算金额：350.000000 万元(人民币)
最高限价(如有)：340.000000 万元(人民币)
采购需求：
1、兼容8英寸及以下尺寸的晶圆片和不规则碎片；不同尺寸样片之间的切换、无需反应腔室的开腔破真空；反应腔室由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率，真空漏率≤ 2E-4 mbar·l/s；腔壁可加热，反应腔内径≥ 295 mm。
2、下电极为铝制电极，由射频源驱动；电极冷却：水冷，配置有循环
冷却器，温度控制范围不小于+10到+80°C。
3、配置激光终点原位检测装置，激光终点检测波长≥ 650 nm，测量速度≤ 1秒，带X-Y电动位移，行程范围≥ 20 mm × 20 mm；配置光发射谱(OES)终点检测装置，OES终点检测装置光谱范围≥ 200-1000 nm，配置≥ 2000像素的CMOS探测器。
本项目接受进口产品。
本项目所属行业：工业。
本项目(非专门)面向中小企业采购。
本项目(非专门)面向监狱企业采购。
本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。
最高限价：340万元(境内外产品最高限价均为此限价，其中境外产品不含外贸代理费)，超过最高限价的为无效投标文件
项目编号：0664-2540SUMECZF116(SEU-ZB-250495)
合同履行期限：境外产品：开具信用证后300天内设备安装调试合格。境内产品：合同签订后300天内设备安装调试合格。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
3.本项目的特定资格要求：(1)如为进口产品，需提供有效的产品授权书。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：(1)供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。(2)凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。(3)供应商被“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、“中国政府采购网"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。
三、获取招标文件
时间：2025年07月09日 至 2025年07月15日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。(北京时间，法定节假日除外)
方式：在线获取(详见补充事宜)
售价：￥400.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2025年07月30日 14点00分(北京时间)
开标时间：2025年07月30日 14点00分(北京时间)
地点：南京市长江路198号苏美达大厦辅楼301会议室
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